HIM

Forschungsgroßgerät Helium-Neon-Ionenmikroskop

01.04.2016 bis 31.12.2025

In einem Helium-Neion-Ionen-Mikroskop (HIM) wird ein fokussierter Helium- oder Neon-Ionenstrahl zur hochauflösenden Abbildung von Oberflächen oder zur höchstauflösenden Oberflächenbearbeitung (Ionenstrahl-induzierte Abscheidung, Ion Milling bis in den sub-10 nm Bereich) eingesetzt. Es bietet damit eine ähnliche Funktionalität wie Rasterelektronen-Mikroskope (REM) oder Focused Ion Beam Geräte (FIB), erweitert deren Möglichkeiten aber in mehreren Punkten, insbesondre durch eine noch höhere Auflösung. Es eröffnet damit ein weites Feld an State-of-the-Art Abbildungen und Strukturierung.